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申購單編號(hào): （略）

申購單主題（略）

申購具體單位（略）

申購單位: 中山大學(xué)

申購備注:

商品名稱（略）

型號(hào): QHV-R（略）

品牌: 奇匯

數(shù)量: 1.0

規(guī)格: 1.極限真空: 優(yōu)于4×（略）-5Pa（新設(shè)備） 2.漏 率: 6.7×（略）-8Pa·L/S 3.工作真空: 5×（略）-4Pa，從大氣到工作真空時(shí)間小于（略）鐘（新設(shè)備冷態(tài)下,連接手套箱） 4（略）抽到極限后，停泵關(guān)機(jī)（略）真空度保持狀態(tài)≤2Pa。 5.樣品尺寸: （略）×（略）mm. 6.樣品托尺寸: （略）×（略）mm. 7.樣品架與源表面距離: （略）mm 8.蒸發(fā)源: 有機(jī)源×2套 9.樣品臺(tái)升降距離: 無升降。樣品架溫度0~（略）℃連續(xù)可控。 （略）.真空室開腔形式: 手動(dòng)前大開門結(jié)構(gòu) （略）.膜厚探頭: 水冷4只，安裝在蒸發(fā)源上方。 （略）.裝片方式: 側(cè)插方式。 （略）.（略）預(yù)留: 有（略）的預(yù)留口。 （略）.減震: 設(shè)備（略）體與底面之間安裝有氣動(dòng)減震模塊。 （略）:手套箱防抽爆：配置。 （略）.制備方式：電流，電壓，溫度，速率閉環(huán)反饋控制。 1.1蒸發(fā)室 1套。此蒸發(fā)設(shè)備由單真空腔體構(gòu)成，腔體材質(zhì)為不銹鋼 SUS（略），前后開門結(jié)構(gòu)。真空室尺寸為（略）×（略）×（略）mm。前開門嵌套在手套箱內(nèi)，隱藏式側(cè)滑門結(jié)構(gòu)。 1.2蒸發(fā)屏蔽板 1套。真空室側(cè)壁，底板，上板，可以方便拆卸，清洗。 1.3 DN（略）觀察窗 二套。尺寸為DN（略）mm。材質(zhì)為石英玻璃。一套內(nèi)門，一套外門。 1.4 DN（略）×（略）觀察窗 一套。尺寸為DN（略）×（略）。膠圈密封觀察窗。 1.5樣品架 1套。蒸發(fā)源和樣品距離為（略）mm。在升降架側(cè)安裝有指示標(biāo)尺。樣品架可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速手動(dòng)可調(diào)（略）。電動(dòng)旋轉(zhuǎn)0～（略）轉(zhuǎn)/（略）。每次可安裝 （略）mm（略）mm樣品1片。帶有水冷盤結(jié)構(gòu)，樣品與水冷盤間距1mm。 1.6樣品架擋板 1套。氣動(dòng)/磁力耦合原理。安裝在真空室側(cè)壁，在真空室外有位置限制。旋開方式。 1.7有機(jī)源及擋板 2套。石英坩堝容量3cc ,加熱絲裸露，新型仿進(jìn)口結(jié)構(gòu)，高口石英坩堝，降溫速度快。 1.8 膜厚探頭 4套。國產(chǎn)膜厚探頭。 CF（略），水冷結(jié)構(gòu)，用于測量蒸發(fā)速率。安裝在真空室側(cè)壁上，標(biāo)配4只，用于測量膜厚和蒸發(fā)速率，測量精度0.（略） ?。 1.9四芯電極 1套。CF（略）-4,用于電流的饋入。 1.（略）烘烤燈組件 1套。烘烤與照明燈（略）開。兩只烘烤燈，一只照明燈。便于迅速除去水汽，提高真空度。 2（略） 1套 腔室（略），由機(jī)械泵和渦輪（略）子泵組

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