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招標(biāo)代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2025-09-12在采購(gòu)與招標(biāo)網(wǎng)發(fā)布 高真空鍍膜系統(tǒng)　　競(jìng)爭(zhēng)性磋商公告。現(xiàn)邀請(qǐng)全國(guó)供應(yīng)商參與投標(biāo)，有意向的單位請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系項(xiàng)目聯(lián)系人參與投標(biāo)。 一、項(xiàng)目（略）二、項(xiàng)目編號(hào)：S（略）三、采購(gòu)人：（略）地址：（略）　　　　電話：（略）-（略）n技術(shù)聯(lián)系人：（略）　　電話（略）物品名、數(shù)量及主要性能參（略）　　1套（一）主要技術(shù)性能指標(biāo)及配置要求1.蒸鍍儀1.1底盤(pán)結(jié)構(gòu)1.1.1采用型材搭建或焊接式框架，外觀要求氧化處理或噴漆，防止生銹，配可以打開(kāi)的磁吸柜門(mén)；1.1.2底部帶有輪子，可推動(dòng)，并帶有可調(diào)節(jié)高度的支腳；1.1.3帶有機(jī)械旋轉(zhuǎn)手臂，有多（略）度調(diào)節(jié)操作界面；1.1.4電氣控制集成到底盤(pán)上，與真空腔體一體式。1.2基片架結(jié)構(gòu)1.2.1樣品架采用嵌入式結(jié)構(gòu)，可搭載（略）片（略）mm*（略）mm基片，掩模版到基片距離小于0.1mm。1.2.2電機(jī)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)連續(xù)旋轉(zhuǎn)，最大轉(zhuǎn)速可達(dá)（略）轉(zhuǎn)（略）鐘，通過(guò)磁流體與基片托盤(pán)連接；1.2.3配有二個(gè)擋板，氣缸驅(qū)動(dòng)，二個(gè)擋板組合使用，可遮擋范圍（略）mm×（略）mm；1.2.4腔體門(mén)板上安裝有長(zhǎng)條形觀察窗，并附帶擋板，通過(guò)磁流體打開(kāi)與關(guān)閉。1.3蒸發(fā)源1.3.1三組舟源，可對(duì)金屬，有機(jī)，無(wú)機(jī)物等材料進(jìn)行蒸鍍，每組（略），源與基片的垂直距離約為（略）mm；三組蒸發(fā)源按照R-D-matin-ME系列舟蒸發(fā)源設(shè)計(jì)；源和源之間有隔板，防止交叉污染及隔絕一定溫度輻射。每個(gè)蒸發(fā)源電極均采用水冷式結(jié)構(gòu)，以便可以長(zhǎng)時(shí)間蒸鍍1.3.2配備1組低溫束源，坩堝容量5cc，可對(duì)有機(jī)材料進(jìn)行蒸鍍，源與基片的垂直距離約為（略）mm；源和源之間有隔板，防止交叉污染及隔絕一定溫度輻射；1.3.3每組蒸發(fā)源的上方同時(shí)配有防護(hù)板防止蒸發(fā)源的交叉污染，防護(hù)板通過(guò)氣缸驅(qū)動(dòng)，打開(kāi)方式：左右旋轉(zhuǎn)；1.3.4源與源之間裝有隔板，避免源與源之間材料相互污染；1.3.5蒸發(fā)電源2臺(tái)，1臺(tái)可編程直流電源（TDKGEN8-（略）.5KW，升溫溫度（略）℃，精度0.1A），通過(guò)繼電器切換，電源設(shè)定為恒流模式，調(diào)節(jié)電流的大小來(lái)對(duì)蒸發(fā)源上的負(fù)載進(jìn)行加熱，從而使得負(fù)載上的材料達(dá)到一定溫度后發(fā)生蒸發(fā)現(xiàn)象；1臺(tái)可編程直流電源（TDKZ+（略）-（略）W，升溫溫度（略）℃，精度0.1A），電源設(shè)定為恒流模式，調(diào)節(jié)電流的大小來(lái)對(duì)蒸發(fā)源上的負(fù)載進(jìn)行加熱，從而使得負(fù)載上的材料達(dá)到一定溫度后發(fā)生蒸發(fā)現(xiàn)象。配合膜厚儀，能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)蒸鍍。1.4自動(dòng)化控制（略）1.4.1采用工控機(jī)控制模式，相關(guān)的操作均在工控機(jī)界面完成，顯示器通過(guò)機(jī)械手臂固定在設(shè)備框架，帶有一鍵自動(dòng)蒸鍍功能。1.5（略）1.5.1標(biāo)準(zhǔn)晶振傳感器2個(gè)，均為水冷式，位于基片盤(pán)兩側(cè)；1.5.2晶振探頭、膜厚儀與蒸發(fā)電源之間可實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，用于控制電源功能及速率穩(wěn)定性；1.5.3膜厚速率顯示精度：±0.（略）AS；1.5.4蒸鍍速率，可蒸有機(jī)：以BCP為標(biāo)準(zhǔn)，蒸鍍速率速度穩(wěn)定性≤±（略）%0.1-0.5As，≤±5%0.5-（略）As，≤±4%（略）As；單片內(nèi)膜厚勻性≤5%。1.6真空室1.6.1真空室由不銹鋼制成，內(nèi)部尺寸至少為（略）mm×（略）mm×（略）mm，裝有基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)和擋板的固定裝置，以及蒸發(fā)電極、真空泵、樣品盤(pán)等裝置；1.6.2真空腔體配備兩個(gè)可以完全打開(kāi)的門(mén)，前門(mén)為移門(mén)，可以連接手套箱，后門(mén)旋轉(zhuǎn)門(mén)，維護(hù)檢修，并配一個(gè)長(zhǎng)方形觀察窗，觀察腔體內(nèi)部狀況；1.6.3腔體極限真空優(yōu)于3.5×（略）-5pa，從常壓到5×（略）-4pa不超過(guò)（略）min（充氮?dú)獗Ｗo(hù)）；1.6.4氣動(dòng)高真空插板閥，通徑大于等于（略）mm；1.6.5（略），可以在不關(guān)閉（略）子泵的條件下，可打開(kāi)腔室進(jìn)行樣品及材料的更換；1.6.6腔體內(nèi)表面預(yù)留安裝金屬防污擋板接口，后期可安裝金屬防污擋板；1.7（略）1.7.1前級(jí)泵的抽速不低于（略）m3h；1.7.2主泵采用抽速≥（略）ls的（略）子泵；1.7.3主泵和腔室之間安裝有氣動(dòng)插板閥，通徑≥（略）mm；1.7.4自動(dòng)抽氣控制，帶安全互鎖功能；1.7.5配有（略）等相應(yīng)的硬件；1.7.6真空室配真空計(jì)，測(cè)量范圍為大氣至（略）-5pa。2.手套箱2.1使用（略）.（略）%的惰性氣源，空箱運(yùn)轉(zhuǎn)，箱內(nèi)水氧含量均小于1PPM。2.2箱體泄漏率＜0.（略）%h（即關(guān)閉循環(huán)氧含量上升速率＜2ppmh）。2.3箱體2.3.1???四個(gè)不銹鋼箱體，每個(gè)箱體內(nèi)部尺寸為長(zhǎng)度≤（略）mm、深度≤（略）mm、高度≤（略）mm，其中一個(gè)箱體背部對(duì)接鍍膜機(jī)，箱體呈L型布置，箱體材質(zhì)為SUS（略）不銹鋼，厚度3mm。2.3.2四個(gè)視窗與箱體之間采用專(zhuān)業(yè)無(wú)泄漏雙層密封技術(shù)，可有效阻擋空氣中的H2O、O2、N2（略）子擴(kuò)散入手套箱和有毒（略）子擴(kuò)散出手套箱，達(dá)到無(wú)泄漏效果（提供相關(guān)證明文件）2.3.3八個(gè)鋁合金手套口2.3.4手套口與手套和視窗之間的密封使用無(wú)泄漏密封抽真空技術(shù)。（產(chǎn)品宣傳冊(cè)需有相關(guān)證明文件）2.3.5四副原裝進(jìn)口丁基橡膠手套。制造商擁有手套箱手套（略）檢漏裝置用于箱體及手套檢漏。（提供相關(guān)技術(shù)證明文件）2.3.6箱體背部預(yù)留多個(gè)KF（略）法蘭孔2.3.7四個(gè)鋼結(jié)構(gòu)支架，高≥（略）mm，須有安裝（略）向腳輪，具有調(diào)平、移動(dòng)、固定等功能。2.4過(guò)渡艙2.4.1一個(gè)T型大過(guò)渡倉(cāng)，尺寸：直徑≥（略），長(zhǎng)度≥（略）mm，通過(guò)在觸摸屏上點(diǎn)觸啟動(dòng)按鍵，過(guò)渡艙可自動(dòng)完成多次抽充程序。2.4.2???一個(gè)T型小過(guò)渡倉(cāng)，法蘭連接，尺寸：直徑≥（略），長(zhǎng)度≥（略）mm，小過(guò)渡艙門(mén)特別設(shè)計(jì)，易操作，不易損壞。2.4.3一個(gè)便捷型小過(guò)渡倉(cāng)，為了確保密封性則焊接在箱體四右側(cè)，尺寸：直徑≥（略），長(zhǎng)度≥（略）mm，小過(guò)渡艙門(mén)特別設(shè)計(jì)，易操作，不易損壞。2.5獨(dú)（略）（數(shù)量：兩套）2.5.1氧氣的吸附量≥（略）升；水的吸附量≥2公斤。2.5.2配有凈化材料吸附飽和后可再生裝置。2.5.3有機(jī)溶劑吸附柱:含活性炭顆粒吸附材料，放置在箱體內(nèi)，吸附飽和后可便捷更換材料。2.6（略）（數(shù)量：兩套）2.6.1（略）由PLC和7英寸彩色觸摸屏組成，用戶(hù)友好的中英文操作界面。2.6.2（略）能耗，循環(huán)風(fēng)機(jī)功率小于（略）m3h，無(wú)需增加變頻器及冷水機(jī)。手套箱具有自動(dòng)循環(huán)與手動(dòng)循環(huán)兩種模式，超低能耗，大部（略）時(shí)間能耗小于（略）W（需提供相關(guān)證明文件）2.7驗(yàn)收技術(shù)指標(biāo)2.7.1泄露率﹤0.（略）%h即關(guān)閉循環(huán)氧含量上升速率2ppmh，投標(biāo)時(shí)需提供相關(guān)技術(shù)證明文件，其中泄露率指標(biāo)需提供國(guó)家級(jí)非地方性機(jī)構(gòu)出具的測(cè)試認(rèn)證報(bào)告，泄露率檢測(cè)結(jié)果同時(shí)適用于正壓和負(fù)壓狀態(tài)下）。2.7.2H2O﹤1ppm，O2﹤1ppm。（PLC顯示屏需顯示實(shí)際水氧含量，顯示屏上數(shù)值需精確到小數(shù)點(diǎn)后兩位，而且水含量數(shù)值能在PLC顯示屏上隨時(shí)切換成箱體內(nèi)實(shí)測(cè)露點(diǎn)值（需提供相關(guān)技術(shù)證明文件）。此項(xiàng)作為最終驗(yàn)收指標(biāo)，如若不符用戶(hù)有權(quán)直接退貨）2.8標(biāo)準(zhǔn)配件2.8.1真空泵（數(shù)量：兩臺(tái)）：采用知名品牌；流量≥（略）m3h，極限真空2×（略）-3毫巴，可對(duì)過(guò)渡艙抽真空，并保持箱體壓力平衡。2.8.2氧（略）析儀（數(shù)量：兩臺(tái)）：采用知名品牌傳感器，材質(zhì)為電化學(xué)燃料電池，不接受氧化鋯材質(zhì)探頭，量程：0ppm-（略）ppm。精度：0.2ppm或量程的1%。氧（略）析儀需要自帶數(shù)顯功能（需有相關(guān)技術(shù)證明文件）。2.8.3水（略）析儀露點(diǎn)儀（數(shù)量：兩臺(tái)）：采用知名品牌傳感器，材質(zhì)為氧化鋁膜探測(cè)器，量程：-（略）℃到（略）℃（露點(diǎn)）或者量程：0ppm-（略）ppm，精度：2℃。2.8.4（略）（數(shù)量：一套），安裝于箱體二頂部，控制箱內(nèi)溫度（略）-（略）攝氏度。2.8.5箱體二底部設(shè)計(jì)安裝一個(gè)石英玻璃，直徑（略）mm。2.9其他配件2.9.1四個(gè)國(guó)產(chǎn)鋼瓶減壓閥2.9.2四只丁基橡膠手套2.9.3三根箱內(nèi)電源線2.9.4兩根真空單管雙閥2.9.5兩根5米長(zhǎng)的清洗閥外接鋼絲軟管（直徑（略）mm、（略）mm）2.9.6一套手套箱備用工具、一份電子檔說(shuō)明書(shū)（二）質(zhì)保期不少于1年（驗(yàn)收合格后起算）。五、評(píng)（略）標(biāo)準(zhǔn)本次磋商采用綜合評(píng)（略）法，總（略）為（略），具體內(nèi)容如下：（一）技術(shù)參數(shù)、配置及（略）體綜合性能（略）（（略））1．技術(shù)參數(shù)及配置（（略））以供應(yīng)商提供的能直接反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的彩頁(yè)或產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)等作為主要評(píng)判依據(jù)，其他情況由磋商小組根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行評(píng)判。（1）所提供產(chǎn)品多項(xiàng)不滿(mǎn)足磋商公告要求（偏離），或參數(shù)偏離超出用戶(hù)教學(xué)、科研可接受范圍的，經(jīng)磋商小組評(píng)審可作為無(wú)效響應(yīng)文件。（2）所提供產(chǎn)品不滿(mǎn)足磋商公告要求（偏離）、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項(xiàng)的，每處扣3（略）。2．綜合性能情況（（略））（1）所提供產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于競(jìng)爭(zhēng)性磋商文件中技術(shù)要求情況（磋商小組認(rèn)為超出指標(biāo)有意義的）（6（略））。其中優(yōu)于項(xiàng)，每處加2（略）。（2）所提供（略）場(chǎng)反饋情況（9（略））。根據(jù)所提供產(chǎn)品的品牌影響力、（略）場(chǎng)占有率（同行業(yè)為主）、現(xiàn)有用戶(hù)的反饋情況、使用所提供產(chǎn)品發(fā)表的學(xué)術(shù)論文情況等綜合評(píng)定。（二）價(jià)格（略）（（略））1．基準(zhǔn)價(jià)：滿(mǎn)足競(jìng)爭(zhēng)性磋商文件要求且價(jià)格最低的報(bào)價(jià)為基準(zhǔn)價(jià)，基準(zhǔn)價(jià)為滿(mǎn)（略）；2．其他供應(yīng)商的報(bào)價(jià)得（略）按照下列公式計(jì)算：報(bào)價(jià)得（略）＝（基準(zhǔn)價(jià)／報(bào)價(jià)）×（略）。（（略）（（略））1．綜合實(shí)力（3（略））根據(jù)供應(yīng)商提供的能體現(xiàn)其綜合實(shí)力的證明材料進(jìn)行評(píng)定。2．售后服務(wù)與培訓(xùn)情況等（（略））（1）質(zhì)保期（3（略））。符合磋商文件要求的，得1（略），每增加一年質(zhì)保期加1（略）。（2）服務(wù)、技術(shù)支持與培訓(xùn)承諾情況（7（略））。根據(jù)磋商響應(yīng)文件（略）點(diǎn)設(shè)置情況、服務(wù)響應(yīng)時(shí)間、現(xiàn)有用戶(hù)對(duì)產(chǎn)品售后服務(wù)情況及服務(wù)水平的反饋等綜合評(píng)定。3．其它優(yōu)惠措施等（2（略））根據(jù)供應(yīng)商提供的在磋商文件要求范圍以外，磋商小組認(rèn)可的優(yōu)惠措施綜合評(píng)定。六、磋商響應(yīng)報(bào)價(jià)應(yīng)包括所報(bào)儀器設(shè)備費(fèi)、安裝調(diào)試費(fèi)、測(cè)試驗(yàn)收費(fèi)、培訓(xùn)費(fèi)、運(yùn)行維護(hù)費(fèi)、稅金、國(guó)際國(guó)內(nèi)運(yùn)輸費(fèi)、保險(xiǎn)和其他為完成本項(xiàng)目所發(fā)生的一切費(fèi)用。七、供應(yīng)商資質(zhì)要求（一）具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力；（二）具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度；（三）具有履行合同所必需的設(shè)備和專(zhuān)業(yè)技術(shù)能力；（四）有依法繳納稅收和社會(huì)保障資金的良好記錄；（五）近三年內(nèi)，在經(jīng)營(yíng)活動(dòng)中沒(méi)有重大違法記錄；（六）本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體報(bào)價(jià)。八、磋商響應(yīng)文件的組成（一）磋商響應(yīng)文件一般由下列材料組成（部（略）表格樣式見(jiàn)附件1），復(fù)印件須加蓋供應(yīng)商公章，所有材料須按序裝訂成冊(cè)：1.目錄（磋商響應(yīng)資料與頁(yè)碼對(duì)照表，原件）。2.磋商響應(yīng)函（原件）。3.響應(yīng)基本情況一覽表（原件）。4.詳細(xì)配置清單（原件）。5.技術(shù)規(guī)格偏離表（原件）。6.（略）業(yè)績(jī)、公司榮譽(yù)等，原件）。7.資格證明材料（1）營(yíng)業(yè)執(zhí)照、稅務(wù)登記證以及組織機(jī)構(gòu)代碼證（復(fù)印件）。（2）法定代表人授權(quán)書(shū)（原件）。（3）法定代表人（略）明材料（如（略）、護(hù)照等）（復(fù)印件）。（4）法人授權(quán)代表（略）明材料（如（略）、護(hù)照等）及單位社保證明（復(fù)印件）。（5）供應(yīng)商最新的年度審計(jì)報(bào)告或財(cái)務(wù)報(bào)告（復(fù)印件）。（6）儀器設(shè)備生產(chǎn)或經(jīng)營(yíng)企業(yè)許可證（復(fù)印件，特殊行業(yè)必須提供）。（7）儀器設(shè)備銷(xiāo)售代理授權(quán)證明（進(jìn)口貨物非生產(chǎn)制造廠商投標(biāo)的，須按第2.2條要求提供，專(zhuān)項(xiàng)授權(quán)書(shū)提供原件、代理證書(shū)提供復(fù)印件）。（8（略）出具的質(zhì)量體系認(rèn)證證書(shū)（例如：ISO、FDA、CE、3C等，國(guó)家強(qiáng)制要求的設(shè)備必須提供，復(fù)印件）。（9）近三年來(lái)與本次磋商儀器設(shè)備相同產(chǎn)品的用戶(hù)名單及聯(lián)系方式（以教學(xué)、科研用戶(hù)為主，原件）。8.服務(wù)措施、服務(wù)承諾（主要包括針對(duì)本項(xiàng)目的服務(wù)、培訓(xùn)方案及其他優(yōu)惠措施等）（原件）。9.供應(yīng)商認(rèn)為應(yīng)該提供的其他材料。（二）特別說(shuō)明1.“磋商響應(yīng)文件”應(yīng)裝訂并密封，并加蓋投標(biāo)單位公章。2.正本一份，副本三份，如副本與正本有出入，以正本為準(zhǔn)；3.相關(guān)材料及填寫(xiě)規(guī)范按照《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購(gòu)儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》第三條“投標(biāo)文件”中的具體要求執(zhí)行。九