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招標代理公司（立即查看） 受業(yè)主單位（立即查看） 委托，于2025-08-28在采購與招標網發(fā)布 華中光電技術研究所（武漢）等離子增強氣相沉積系統(tǒng)、硅基等離子體刻蝕機、InP基等離子體刻蝕機、GaAs基等離子體刻蝕機招標公告。現(xiàn)邀請全國供應商參與投標，有意向的單位請及時聯(lián)系項目聯(lián)系人參與投標。 招標公告1.招標條件本招標項目等（略）、硅基等離子體刻蝕機、InP基等離子體刻蝕機、GaAs基等離子體刻蝕機招標人為華中光電技術研究所（武漢），招標項目資金來自國撥資金，出資比例為（略）%。該項目已具備招標條件，現(xiàn)對等（略）、硅基等離子體刻蝕機、InP基等離子體刻蝕機、GaAs基等離子體刻蝕機進行國內公開招標。2.項目概況與招標范圍2.1招標編號：ZK（略）A（略）.2招標項目名稱：等（略）、硅基等離子體刻蝕機、InP基等離子體刻蝕機、GaAs基等離子體刻蝕機2.3數(shù)量：等（略）?????????1臺硅基等離子體刻蝕機?????????????????1臺InP基等離子體刻蝕機???????????????1臺GaAs基等離子體刻蝕機????????????1臺2.4設備用途：1）等（略）：等（略）主要借助微波或射頻源使含有薄膜組成原子（略）部形成等離子體，利用等離子體的強化學活性發(fā)生反應，從而在基片上沉積出預期的薄膜，具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好等優(yōu)點。本儀器可沉積氧化硅、氮化硅等材料，能夠實現(xiàn)對沉積厚度的精確控制，還可以通過改變反應氣體組（略）在一定范圍內調節(jié)沉積薄膜的折射率，可應用于微納結構中的抗腐蝕層、微納電子器件中的絕緣層、波導結構等。2）硅基等離子體刻蝕機：等離子體刻蝕機用于對半導體晶圓進行干法刻蝕微納加工，從而制作出設計好的波導結構圖案。其刻蝕過程是化學反應和物理轟擊過程所共同作用的結果，其內部包括兩套射頻電源，其中一套與腔室外纏繞的螺線圈相連，使線圈產生感應耦合電場，腔室內的刻蝕氣體在此電場作用下輝光放電產生高密度等離子體；另一套（略）和樣品的下方電極相連，用于產生偏置電壓，對等離子體進行加速使其定向作用于樣片表面，并將發(fā)生化學反應產生揮發(fā)性的氣體，經過排氣口排出，完成樣片刻蝕。等離子體刻蝕機對晶圓芯片結構加工具有速率快、精度高、表面粗糙度小的優(yōu)點。硅基等離子體刻蝕機將用于硅光芯片研制過程中刻蝕光波導和光柵等結構。3）InP基等離子體刻蝕機：等離子體刻蝕機用于對半導體晶圓進行干法刻蝕微納加工，從而制作出設計好的波導結構圖案。其刻蝕過程是化學反應和物理轟擊過程所共同作用的結果，其內部包括兩套射頻電源，其中一套與腔室外纏繞的螺線圈相連，使線圈產生感應耦合電場，腔室內的刻蝕氣體在此電場作用下輝光放電產生高密度等離子體；另一套（略）和樣品的下方電極相連，用于產生偏置電壓，對等離子體進行加速使其定向作用于樣片表面，并將發(fā)生化學反應產生揮發(fā)性的氣體，經過排氣口排出，完成樣片刻蝕。等離子體刻蝕機對晶圓芯片結構加工具有速率快、精度高、表面粗糙度小的優(yōu)點。InP基等離子體刻蝕機將用于InP基半導體激光器芯片研制過程中刻蝕光波導和光柵等結構。4）GaAs基等離子體刻蝕機：等離子體刻蝕機用于對半導體晶圓進行干法刻蝕微納加工，從而制作出設計好的波導結構圖案。其刻蝕過程是化學反應和物理轟擊過程所共同作用的結果，其內部包括兩套射頻電源，其中一套與腔室外纏繞的螺線圈相連，使線圈產生感應耦合電場，腔室內的刻蝕氣體在此電場作用下輝光放電產生高密度等離子體；另一套（略）和樣品的下方電極相連，用于產生偏置電壓，對等離子體進行加速使其定向作用于樣片表面，并將發(fā)生化學反應產生揮發(fā)性的氣體，經過排氣口排出，完成樣片刻蝕。等離子體刻蝕機對晶圓芯片結構加工具有速率快、精度高、表面粗糙度小的優(yōu)點。GaAs基等離子體刻蝕機將用于GaAs基半導體激光器芯片研制過程中刻蝕光波導和光柵等結構。2.5交貨地址：（略）2.6交貨期：合同簽訂后（略）個月內。3.投標人資格要求3.1投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內（略）的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。3.2本次招標不接受聯(lián)合體投標。3.3本次招標不接受代理商投標。3.4投標人（略）年1月1日至開標前一日（以合同簽訂時間為準）具有等（略）、等離子體刻蝕機的同類型產品業(yè)績：（1）上述2種產品均須提供同類型產品業(yè)績；（2）每種產品須提供至少（略）份業(yè)績合同（同一業(yè)績中可同時包含上述兩種產品），業(yè)績均須附供貨合同必要部（略）（須包含合同首頁及蓋章頁或者簽署頁，合同中須有標的物名稱，且有明確的簽訂時間）。3.5信譽要求：未被列入“信用中國”（（略）w（略）站“記錄嚴重失信主體（略）站截圖證明或提供承諾書。3.6投標人必須向招標代理機構（略）并進行登記才具有投標資格。4.招標文件的獲取4.1凡有意參加投標者，請于（略）年8月（略）日至（略）年9月4日（略）時北京時間，（略）中國（略）（https:（略）.com）（略）參與項目,需要（略）費（略）開具），（略）不予受理。如有疑問，請致電中國（略）服務熱線（略）轉1。4.2招標文件售賣每套招標文件售價人民幣（略），售后款項不予退還。潛在投標人應通過本鏈接:https:（略）.cnk.action?kpdm=5QCPZTjh=（略）或掃描下方二維碼（略）招標文件費用，（略）后請自行提交電子發(fā)票申請需再次進入鏈接或掃描二維碼（略）消費記錄后填寫開票信息，電子發(fā)票將自動（略）至申請時所填（略）。潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票（略）至（略），經招標人代理機構確認后，才能獲得招標文件的（略）權限。4.3投標人必須在中國（略），否則無法投標。（詳見中國（略）相關說明）。5.投標文件的遞交5.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為（略）年9月（略）日9時（略），地點（略）與（略）口東南（略）一層會議室。5.2逾期送達的、未送達指定地點的或者不按照招標文件要求密封的投標文件，招標人將予以拒收。6.發(fā)布公告的媒介本次招標公告同時在（略）、中國（略）和中國（略）上發(fā)布。7.聯(lián)系方式招標人：（略）術研究所（武漢）地址：（略）南（略）郵編：（略）聯(lián)系人：（略）：（略）-（略）項目負責人：（略）-（略）傳真：（略）-（略）電子（略）：（略）年8月（略）日（略）查看原文